セミナープログラム（予定）

近年、精密機械・精密機器を扱う製造業では、振動対策の重要性がますます高まっています。ナノメートル単位の精度が求められる半導体関連機器などの設計では、誤差論の理解を基に、機械や電気など幅広い知識を統合した設計アプローチが必要となります。

６自由度計測器や半導体関連機器のような高精度機器においては、外部からの振動が計測精度や動作精度に重大な影響を及ぼすため、防振設計の最適化が極めて重要です。防振設計の成功事例を分析することで、誤差低減技術の理解が深まり、分野横断的な知識を活用した設計能力の向上が期待されます。

さらに精密機器を設置する建屋自体の振動特性や耐震性能も、高精度環境を維持する上で不可欠な要素です。

本セミナーでは、精密機械の防振設計に焦点を当て、誤差を最小限に抑えるための具体的な設計手法を探求することで、高精度機器開発への貢献を目指します。

精密機械に関する基礎知識を身につけるとともに、装置設置床や建屋振動が装置性能に与える影響を適切に評価・管理するスキルの習得を図ります。また、通常の地震動だけでなく、周期地震動に関しても分析と対策を行い、新技術の導入や継続的な改善に向けた議論も行います。

このセミナーを受講することで、防振設計に関する基礎理論にとどまらず、現場で直面する課題に対して実践的に対応できる知識と技術を習得できます。ぜひご参加ください。

期待される効果

• 精密機械の設計手順
• 振動評価技術の把握
• 建屋の振動仕様の理解
• 高精度装置の地震対策の理解

主な受講対象者

• 精密機械を扱う若手～中堅社員

１．はじめに
本セミナーの目的と達成レベル

２．高精度精密機械の基礎知識
2-1　精度編
誤差論、系統誤差と偶然誤差
2-2　振動系
１自由度系、２自由度＆多自由度系、動吸振器、質量系、ばね系、減衰系
連成振動と非連成振動
2-3 　電気・制御系
タイマー割り込み処理、ディジタルフィルター設計、PID制御等
2-4　振動遮断の原理
2-5 　評価規範
RMS、1/3OCT分析、PSD
VCカーブ/NIST-A
諸外国の振動仕様

３．実践・高精度精密機械の防振設計
3-1 ６自由度運動のダイナミクス
・システムの運動方程式
3-2 センサ類
  加速度センサ、速度センサ、変位センサ（渦、静電容量）、圧力センサ
3-3 アクチュエータ類
  電磁アクチュエータ（VCM）、空気圧アクチュエータ（空気ばね）
3-4 支持方法
  弾性支持・防振支持、空気ばね支持
3-5 防振特性
　スカイフック制御
  加速度FB、速度FB、相対位置FB、加速度FF、ハイブリッド制御
3-6 防振要素技術
　①二重防振方式、②補助タンク方式、③擬似補助タンク（圧力微分FB）
　④エア制御＆ＶＣＭのハイブリッド制御
　⑤アクチュエータ多点配置制御、⑥アクティブ・ダンピング技術
　（閑話休題：加速度センサの扱い）

 
４．建屋振動計測とデータ分析
4-1 一般の振動測定
　・相反性
　・入力（ハンマー、シェーカ）、各種ウィンドウ、コヒーレンス
4-2 実稼働解析
・建屋振動モードの特定（絶対に見逃してはいけない！）
4-3 現場の実践対応
・振動測定の玄人テクニック
・電気ノイズ処理
・超低周波の測定テクニック
4-4　建屋振動特性と補強
・建屋動剛性の推定
・地盤振動の特徴
・構造解析の限界
・補強の留意点

 
５．建屋振動仕様
5-1 設置床の振動特性
5-2 高精度精密機械の振動仕様

６．地震対応
6-1 通常地震
6-2 長周期地震動

７．今後のイノベーション
7-1 建屋振動と高精度精密機械の制御の有無
7-2 地震動感知器と高精度装置のBCM