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初心者でも安心!
たった1日の受講で、上級者レベルの知識まで一気に習得!

クリーンルームにおける静電気対策

日程

2024年3月6日(水)
13:00~17:00

場所

日本アイアール㈱ 本社
セミナールーム
または
Zoomによるオンライン受講

定員

受講料

39,600円/1名
(税抜価格:36,000円) 

  • 半導体・液晶製造、医薬品製造、フィルム製造等のクリーンルームでは、 静電気帯電による塵埃の吸着や静電気放電による電気回路パターンの損傷等の静電気障害が製品不良を引起し、大きな問題になっています。

    一般的に、クリーンルームでは帯電防止加工がされたクリーンルームウェアを着用することで静電気対策が行われます。しかし、それだけでは不十分なため、毎年痛ましい静電気事故発生が後を絶ちません

    より根本的な対策として、学校教育で扱われない静電気発生の原理や性質をよく理解し、イオナイザーを中心とした設備面でも適切な対策を施せるようになることが効果的です。

    本セミナーでは、まず静電気の基礎知識について説明します。次に実際のクリーンルームでどのような静電気障害が起こるか、具体例に基づいて説明します。

    また、静電気対策に重要なイオナイザーについて、初めての方でも間違いのない選定ができるよう、除電原理はもちろん、イオナイザーの種類と特徴、適切な選定方法から除電性能評価方法まで、クリーンルームで使用するために十分な知識を1日で解説します。

    可燃性危険物を取り扱う防爆施設など、イオナイザーが使用できない場合に必要な、接地による静電気対策についても指導します。

    長年イオナイザーの開発に携わってきた講師が、静電気の基礎から説明します。静電気の初心者であっても、1日で上級者向けの静電気対策全般の広範囲な知識まで習得できるよう配慮しています。

    • 半導体・液晶製造関連、フィルム製造関連、タッチパネル製造関連、プリンテッドエレクトロニクス関連、プラスチック成型関連、医薬品製造など、除電を必要とするクリーンルームの使用者全般(技術者、研究者、製造責任者、品質管理担当者など)。
    • 除電が必要なクリーンルームを設計・施工する施設担当者、設備担当者、施設設計業者等。
    • イオナイザー等の除電設備について学びたい商社、営業担当者等。
    • 静電気対策について学びたい初心者から上級者まで。
    • 静電気の広範な知識が学べる。
    • イオナイザーを適切に選定、使用できる。
    • 選定時にイオナイザーの除電性能を適切に評価できる。
    • 防爆施設等における接地による静電気対策の方法と評価指標が理解できる。
  • 鈴木政典講師の静電気学会著作賞受賞書籍『クリーンルームにおける静電気対策』(日刊工業新聞社)をプレゼントいたします。

  • 1.はじめに
    2.静電気の基礎
    2.1 動電気と静電気
    2.2 物質は電気エネルギーを持つ
    2.3 静電気はこうして現れる
    (1)静電気発生
    (2)静電気発生機構
    (3)発生の原因
    (4)静電誘導
    (5)帯電列
    3.半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気障害
    3.1 静電気帯電の実態
    3.2 静電気障害
    3.2.1 静電気帯電による静電気障害 浮遊微粒子汚染
    3.2.2 静電気放電による静電気障害 静電破壊
    4.半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気対策
    4.1 静電気対策の方法
    (1)帯電量、帯電性を評価するための主な物理量
    (2)測定装置及び測定方法
    (3)静電気対策と評価指標(目安)
    1)導体の帯電防止
    2)作業者の帯電防止
    3)作業床の導電化
    4)不導体の帯電防止
    (4)防爆施設の各工程における静電気対策
    4.1.2 イオナイザーからの空気イオンにより静電荷を中和する方法
    4.2 イオナイザーの除電原理
    4.3 イオナイザーの種類と特徴
    4.4 イオナイザーの選定方法及び使用上の注意点
    4.4.1 イオナイザーの選定方法
    4.4.2 イオナイザーの使用上の注意点
    4.5 イオナイザーの除電性能の評価方法
    4.5.1 有効除電電流による性能評価
    4.5.2 帯電プレートモニタによる性能評価
    4.6 クリーンルーム用イオナイザー
    4.6.1 クリーンルームにおけるイオナイザーの問題点
    4.6.2 シースエア式低発塵イオナイザー(コロナ放電式)
    4.6.3 イオン化気流放出型イオナイザー(軟X線照射式)
    (1)液晶 カセット用イオン化気流放出型イオナイザー
    (2)チャンバー型無発塵イオナイザー(イオンカラム)
    (3)静電気対策用層流吹出口(イオンキューブ)
    4.6.4 防爆型無発塵イオナイザー(軟X線照射式)
    4.6.5 静電気対策の実施例

    5.おわりに

    質疑応答

講師プロフィール


鈴木 政典 講師

鈴木 政典(すずき まさのり)

静電気対策コンサルタント

静電気学会(代議員)、応用物理学会(正会員)、日本空気清浄協会、SEMI JapanやIDEMA Japan等の委員会等で活動している。2021年4月、日刊工業新聞社より書籍「クリーンルームにおける静電気対策」を出版。同年9月に静電気学会「著作賞」を受賞。

《資格など》
博士(工学)、空気調和・衛生工学会 技術フェロー、甲種 危険物取扱主任者、エックス線作業主任者

《略歴》
1984年3月 名古屋大学大学院工学研究科博士前期課程化学工学専攻修了
1984年4月 (株)テクノ菱和入社、技術開発研究所へ配属
2005年7月 豊橋技術科学大学大学院工学研究科博士後期課程環境・生命工学専攻修了
「清浄環境下におけるイオナイザーによる静電気除去技術に関する研究」で博士(工学)取得
2021年9月 (株)テクノ菱和(技術開発研究所 主席研究員)退社
2021年10月 静電気対策コンサルタント設立 現在に至る

詳細

日付:
3月6日
時間:
1:00 PM - 5:00 PM
参加費:
39,600円

会場

日本アイアール 本社セミナールームorオンライン受講
神田岩本町15-1 CYK神田岩本町3階
千代田区, 東京都 101-0033 Japan
電話番号:
03-6206-4966
Web サイト:
https://nihon-ir.jp/

主催者

日本アイアール(アイアール技術者教育研究所)
電話番号:
03-6206-4966
メール:
ir@nihon-ir.co.jp
Web サイト:
https://engineer-education.com/